%0 Journal Article
%T 高频光栅节距误差的采样云纹法分析
%A 王竹林
%A 雷振坤
%A 赵燕茹
%J 实验力学
%D 2013
%I 
%X 使用采样云纹法来研究高频光栅节距的畸变程度。用电子束刻蚀的3922 line/mm的平行光栅,对其高分辨率扫描电镜图像进行采样和相移分析,得到对应的相位分布,进而转化为相对误差。对于正交光栅,分别进行水平和垂直方向线性滤波后转化为对应的平行光栅,进而得到相对误差分布,并提出误差统计分析来评价光栅质量。理论和实验验证表明采样云纹法可为高频光栅提供评价手段。
%K 高频光栅
%K 节距误差
%K 采样云纹法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=49067A0A0D864088C06A84AACB51A5B2&aid=816BCC9BC16994C74B3C230F925439FD&yid=FF7AA908D58E97FA&vid=D3E34374A0D77D7F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=4C100B7696CE9E24&eid=31611641D4BB139F&journal_id=1001-4888&journal_name=实验力学&referenced_num=0&reference_num=0