%0 Journal Article
%T 厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响
%A 车晓舟
%A 陈莲华
%A 马洪涛
%A 方宏新
%J 科学通报
%D 2010
%I 
%X 采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)沉积了不同厚度的类金刚石(DLC)薄膜, 用波长为514.5 nm的可见光拉曼光谱(Vis-Raman)和宽光谱变角度椭偏仪分析了薄膜的结构. 实验结果表明, 厚度影响DLC薄膜的结构. 当DLC薄膜厚度从2 nm增大到30 nm时, Raman图谱中的G峰位置(G-pos)向高波数方向漂移, 通过高斯拟合得出的D峰和G峰的强度比ID/IG减小, 消光系数(Ks)逐渐减小, 薄膜中的sp3键含量随厚度的增大而增大. 当薄膜厚度从30 nm增大到50 nm时, ID/IG增大, Ks逐渐增大, 薄膜中的sp3键含量减小.
%K 超薄类金刚石薄膜
%K 厚度
%K 结构
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=27615EDAA78510D85DBBFFBBC0A8180D&yid=140ECF96957D60B2&vid=E514EE58E0E50ECF&iid=38B194292C032A66&sid=119B6C0AA09DE6B9&eid=407C905D8F0449C4&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=0