%0 Journal Article
%T 表面钝化对少子寿命、铁-硼对浓度和复合中心浓度的影响
%A 李凤
%A 马忠权
%A 孟夏杰
%A 吕鹏
%A 于征汕
%A 何波
%J 科学通报
%D 2010
%I 
%X 分别采用0.08 mol/L的碘酒、等离子体增强化学气相沉积(PECVD) SiNx:H和40%的HF酸对太阳电池级直拉单晶硅进行表面钝化, 然后利用微波光电导衰减(μ-PCD) 法测量硅片的少子寿命和铁-硼(Fe-B)对浓度. 通过比较少子寿命测量值, 发现0.08 mol/L的碘酒的钝化效果最好, 40%的HF酸的钝化效果最差. 对硅片Fe-B对浓度测量结果的分析表明, 同一硅片经过不同钝化处理后Fe-B对浓度分布差异较大, 且只有经过PECVD沉积SiNx:H钝化的硅片的Fe-B对浓度分布与少子寿命分布有显著的相关性. 此外, 实验研究还发现, 钝化效果比较好的情况下, 复合中心浓度分布与Fe-B对浓度分布存在很强的相关性. 实验的半定量估算、分析表明, 少子寿命、Fe-B对浓度以及复合中心浓度分布的间接测量结果, 受到样品表面钝化效果的影响.
%K 微波光电导
%K 表面钝化
%K 少子寿命
%K 铁-硼对
%K 复合中心
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=AB19314C0720458C8BEF339429B67995&yid=140ECF96957D60B2&vid=E514EE58E0E50ECF&iid=0B39A22176CE99FB&sid=847B14427F4BF76A&eid=23104246A5FCFCEF&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=15