%0 Journal Article
%T Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant-Schichten mittels Laserpulsabscheidung
%A Hagen Gr¨¹ttner
%A Steffen Wei£¿mantel
%J Zeitschrift f¨¹r Nachwuchswissenschaftler
%D 2011
%I Zeitschrift f¨¹r Nachwuchswissenschaftler
%X Es werden grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nanokristallinenDiamantschichten mittels PLD (Pulsed Laser Deposition)vorgestellt. Die Schichtabscheidung erfolgte auf Silizium(111)-Substraten, durch Laserpulsablation eines Graphittargets miteinem KrF-Excimerlaser. Die Substrate wurden mit einer Diamantsuspensionund/ oder mittels Ionenbeschuss vorbehandelt. FolgendeProzessparameter wurden variiert: Laserfluenz zwischen 10 J cm-2und 15 J cm-2, Substrattemperatur zwischen 360   C und 660   C undWasserstoffdruck zwischen 3mbar und 7 mbar. Der Einfluss der Abscheideparameter auf das Wachstum der nanokristallinen Diamant(n-D)-Schichten, wurde mittels Raman-Spektroskopie (Anregungswellenl nge 532 nm) und Rasterelektronenmikroskopie ermittelt. Die jeweiligen Schichtdicken wurden mittels Oberfl chenprofilometrie bestimmt. Bei geeigneterWahl der Prozessparameter konnten nanokristalline Diamantanteile in den Schichten nachgewiesen werden.
%K Nanokristallin
%K Diamant
%K PLD
%K PVD
%K D¨¹nnschicht
%K Kohlenstoff
%U http://www.nachwuchswissenschaftler.org/2011/2/43/ZfN-2011-2-40.pdf