%0 Journal Article
%T S赤ntesis de TiN y TiC por la t谷cnica de PAPVD arco pulsado
%A Diego F. Devia-Narvaez
%A Francisco J. O. Escobar-Gonz芍lez
%A Harold Duque-S芍nchez
%J Scientia Et Technica
%D 2012
%I Universidad Tecnol車gica de Pereira
%X Los recubrimientos de TiN y TiC se depositaron utilizando la t谷cnica de deposici車n en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en valores de 85-100-115∼C. Los recubrimientos se analizaron por medio de Dispersi車n de Fotoelectrones de Rayos X (XPS)) y Difracci車n de Rayos X (XRD). A partir del tratamiento de las se ales de los espectros angostos de XPS y los patrones de XRD, se determin車 la formaci車n de los compuestos TiN (Nitruro de Titanio), TiC (Carburo de Titanio) con grupo espacial fm-3m correspondiente a las fases FCC de los compuestos sintetizados.
%U http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84925149021