%0 Journal Article
%T nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的制备及其摩擦学性能的研究
%A 彭？
%A 张玉娟
%A 翟玉浩
%A 杨坤鹏
%A 张晟卯
%A 张平余
%A 王超峰
%J 摩擦学学报
%D 2015
%R 10.16078/j.tribology.2015.02.010
%X 采用磁过滤阴极弧等离子体沉积技术,在单晶硅片上制备了不同亚层厚度和亚层弹性模量匹配的nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜,采用X射线粉末衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对其微观结构进行表征,利用激光扫描仪对其内部应力进行测试,采用微摩擦磨损试验机表征薄膜的摩擦磨损性能,以考察多层结构设计对于薄膜机械性能的影响.结果表明:多层薄膜相对于单层薄膜可以有效降低膜层内应力,同时薄膜的减摩抗磨性能也得到了提高.亚层厚度为40nm和相邻亚层弹性模量差距较小的nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的抗磨性能最佳.
%K nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜
%K 亚层厚度
%K 亚层弹性模量匹配
%K 摩擦磨损
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20150210&flag=1