%0 Journal Article
%T 全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化
%A 张 宇
%A 李欢
%A 杨成奥
%A 柴小力
%A 牛智川
%A 王金良
%A 谢圣文
%A 黄书山
%J 红外与毫米波学报
%D 2018
%X 成功制备出室温激射波长为2 μm的GaSb基侧向耦合分布反馈量子阱激光器.采用全息曝光及电感耦合等离子体刻蚀技术制备二阶布拉格光栅.优化了光栅制备的刻蚀条件,并获得室温2 μm单纵模激射.激光器输出光功率超过5 mW,最大边模抑制比达到24 dB
%K 镓锑基 侧向耦合分布反馈 LC-DFB 全息光刻 二阶布拉格光栅
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=170268&flag=1