高频光栅节距误差的采样云纹法分析

使用采样云纹法来研究高频光栅节距的畸变程度。用电子束刻蚀的3922 line/mm的平行光栅,对其高分辨率扫描电镜图像进行采样和相移分析,得到对应的相位分布,进而转化为相对误差。对于正交光栅,分别进行水平和垂直方向线性滤波后转化为对应的平行光栅,进而得到相对误差分布,并提出误差统计分析来评价光栅质量。理论和实验验证表明采样云纹法可为高频光栅提供评价手段。