TiAlN/AlON纳米多层涂层组织及性能研究

研究AlON层厚度对TiAlN/AlON纳米多层涂层显微组织和性能影响.使用磁控溅射技术在高速工具钢（W6Mo5Gr4V2）上制备TiAlN/AlON纳米多层涂层，使用X射线衍射仪（XRD）、显微硬度计、通用表面测试仪表征和分析纳米多层涂层的组织和性能.结果表明：在TiAlN模板的作用下，非晶体的AlON转变为晶态，与TiAlN形成共格外延生长，使纳米多层涂层出现了超硬现象.当AlON层厚度为0.81 nm时涂层硬度最高，达到3 769.6 HV，比TiAlN单层涂层显微硬度提高了60.37%；之后随着AlON层厚度增加，硬度下降.当AlON层厚度为0.81 nm时，涂层抗刮性和摩擦磨损性能也达到最好