厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响

采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)沉积了不同厚度的类金刚石(DLC)薄膜, 用波长为514.5 nm的可见光拉曼光谱(Vis-Raman)和宽光谱变角度椭偏仪分析了薄膜的结构. 实验结果表明, 厚度影响DLC薄膜的结构. 当DLC薄膜厚度从2 nm增大到30 nm时, Raman图谱中的G峰位置(G-pos)向高波数方向漂移, 通过高斯拟合得出的D峰和G峰的强度比ID/IG减小, 消光系数(Ks)逐渐减小, 薄膜中的sp3键含量随厚度的增大而增大. 当薄膜厚度从30 nm增大到50 nm时, ID/IG增大, Ks逐渐增大, 薄膜中的sp3键含量减小.