MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析

红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键，准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜，使红外光线收敛呈准直辐射；由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r＝6.48mm，透镜焦距f＝7.2mm，透镜厚度d？≤2mm，用Zemax光学软件仿真优化，得出中间层厚度d＝0.309mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证，为定向辐射MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数，极大提高设计效率。